Heater 控温系统

Heater控温系统为薄膜沉积、刻蚀等半导体制造设备提供高精准温控解决方案，支持标准成套方案与工况定制温控程序。同一控制器硬件平台可根据用户需求配置多种软件方案，适配多样化工艺环境与应用场景。