闭环步进驱动-SANPB系列

产品分类

共 36 个产品

贴片机CAN板

贴片机CAN总线通信板，高速数据传输

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转速检测-I/O信号调理

I/O信号调理模块，用于转速检测与信号转换

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量测-6PU

6处理单元量测控制模块，高精度定位与稳定控制

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闭环步进电机驱动器，高精度位置控制

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天车通信板

AMHS天车通信接口板，支持SECS/GEM协议

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LPM晶圆传送

晶圆传送负载端口模块，高精度晶圆搬运

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排气系统-涂胶显影

涂胶显影设备专用排气系统，高效废气处理

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量测-eDAS Pro

增强型数据采集系统，支持更多量测设备接入

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量测-eDAS

电子数据采集与分析系统，用于量测数据处理与监控

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CVD-Tetra Control

四面体CVD工艺控制系统，多参数协同控制

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CVD-MRCC

微波共振CVD控制单元，适用于特殊薄膜沉积

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VSCVD-Node1 控制板

增强型CVD节点控制板，支持更多传感器与执行器

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VSCVD-Node0 控制板

基础型CVD节点控制板，负责工艺参数采集与执行

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TS-C208 加热控制器

8通道多区加热控制器，支持薄膜沉积多区独立控温

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8通道压力控制模组

8通道高密度压力控制，适用于复杂CMP工艺

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6PSI控压阀组

6PSI精密压力控制阀组，适用于CMP低压工艺

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TS-C200 加热控制器

单通道高精度加热控制器，适用于CVD工艺

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4通道压力控制模组

4通道压力控制模组，平衡性能与成本

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2通道压力控制模组

2通道独立压力控制，适用于简单工艺场景

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MUX Board 01

基础型多路复用板，适用于标准信号路由

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6PORT控压阀组

6端口多路压力控制阀组，支持多区域独立控压

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15PSI控压阀组

15PSI中压控制阀组，适用于常规CMP工艺

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6PSI控压阀组 Pro

增强型6PSI阀组，更高响应速度与稳定性

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LTC刻蚀-24H温度控制

24小时连续运行温控方案，适用于长时间刻蚀工艺

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MUX Board A1

高级多路复用板，支持扩展通道配置

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ESC控制背板 A1

高级ESC控制背板，支持先进工艺节点需求

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ESC控制背板 8B

增强型8通道ESC背板，支持更高电压输出

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MUX Board 8B

增强型8通道多路复用板，低串扰设计

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MUX Board 8A

8通道多路复用板，高速信号切换

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微区控温模块 MT-10

精密控温，适用于边缘补偿与微调区域

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ESC控制背板 01

基础型ESC控制背板，适用于标准刻蚀工艺

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集成控温模块 IT-300

多区一体化控温方案，集成主区与微区控制

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ESC控制背板 8A

8通道ESC静电卡盘控制背板，高集成度设计

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主区加热控制器 MH-200

增强型多通道控温，支持更高温区均匀性要求

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主区加热控制器 MH-100

同一控制器硬件平台可根据用户需求配置多种软件方案，适配多样化工艺环境与应用场景。配备RS-485、RS-232、USB、DeviceNet、Profibus及以太网等接口，支持Modbus、SCPI、EtherCAT等标准通讯协议及其他自定协议。

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微区控温模块 MT-20

高分辨率微区控温，支持多通道独立调节

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